部分:磁力送样结构
磁力送样,可以将样品托从进样室传到有机材料蒸发室,金属材料蒸发室,手套箱
第二部分:进样室
1、形式:圆筒卧式前开门,并装有玻璃观察窗, 具有一个机械手臂用于样片的接送
2、具有1个磁力推送杆接口,分别用于与有机蒸镀腔,无机蒸镀腔,以及手套箱连接
3、材料:304
4、极限真空可达8×10-4Pa
5、抽气速度:真空室在常温下,从1大气压至0.1 Pa 时间≤ 5分钟
6、真空测量:数显真空计,ZJ-52型电阻规
7、基片等离子清洗(脉冲偏压电源提供离子电源)
恒压电源,*大为1000伏特;频率可调(30~60K);占空比可调(10~90%)
8、流量控制1个 进气孔,测试监控,数字显示
第三部分:有机材料蒸发室
(一)有机材料蒸发室室体
极限真空可达1×10-5 Pa;工作真空度:≤5×10-5 Pa; 停机12小时后真空度≤8Pa,
1、型式:立式,单层,立式前开门Φ300,具有一个机械手臂用于样片的接送
2、参考内径尺寸:Φ400×450mm
3、材料:不锈钢304
4、基片位置:真空室上面室顶部,(自转动)
5、基片加热,温度可调节范围300°,温度精度为0.5°
6、蒸发源:真空室下面室底部6个蒸发源
7、蒸发源挡板,容易拆卸和重新组装(进口旋转气缸、磁流体旋转)
8、真空室衬板
9、真空室架
10、观察窗
11、照明灯
(二)真空系统
直联泵+分子泵+真空阀门+真空管道
(三)真空测量:
(四)热蒸发镀膜系统
温度控制,可控硅
(五)样品自转系统:在真空室顶部,自转结构;
(六)室体温控:室体烘烤
(七)测膜仪:
(八)掩膜版转移架, 放置3个掩膜版,转移架的高度可调
第四部分:无机材料蒸发室
(一)无机材料蒸发室室体
极限真空度:≤1×10-5 Pa;工作真空度:≤5×10-5 Pa;停机12小时后真空度≤8 Pa
1、型式:立式,单层,立式前开门Φ300,具有一个机械手臂用于样片的接送
2、参考内径尺寸:Φ400×450mm
3、材料:不锈钢304
4、基片位置:真空室上面室顶部,(自转动)
5、蒸发源:真空室下面室底部6个蒸发源
6、蒸发源挡板:进口旋转气缸、磁流体旋转
7、真空室衬板
8、真空室架
9、观察窗
10、照明灯
(二)真空系统
直联泵+分子泵+真空阀门+真空管道
(三)真空测量
(四)热蒸发镀膜系统
(五)样品自转系统
(六)测膜仪:包含3套膜厚探头(美国INFICON)
(七)电源:220V(AC)50Hz , *大功率:3000W保证金属材料,Al,Ag,Au,Cu,Mg,Ca,以及无机材料MoO3,LiF,Cs2CO3等的正常蒸镀,配套所有材料用的批量的蒸镀舟,保证舟与设备的耦合。
第五部分:真空手套箱系统
一、手套箱功能特点
1、手套箱结构:一个与真空腔体以及磁传送杆相通的进样窗口,两个手动进样窗口
2、气体介质:N2、Ar、He气体
3、净化系统采用可再生/还原的净化材料
4、控制系统实现功能:手/自动控制系统气压
5、手/自动控制系统的净化状态
6、自动控制气体净化系统的还原过程
7、自动提示、报警功能;
8、系统控制参数设置;系统参数记录;系统执行机构工况检测。
9、电源:220V(AC),50HZ, *大功率:3000W
10、性能指标:标准情况下箱体内水含量(注:标准情况为一个大气压,20度恒温) ≤1ppm;标准情况下箱体内氧含量(注:标准情况为一个大气压,20度恒温) ≤1ppm;过渡舱可承受真空度值 >100pa;泄漏率 ≤ 0.05vol%/h